VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Cobalt: Co(2p3) & Co(2p1), BE Cu(2p3)= 932.74 eV
1
0.05 eV/step, Sum of 15 repetitive etch/scans
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
0.05 eV/step, Sum of 15 repetitive etch/scans
Cobalt: Co(2p3) & Co(2p1), BE Cu(2p3)= 932.74 eV
2003
4
25
22
12
14
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
790
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
60
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
95054
0.279096
0.287109
13311
0.287109
13455
0.287088
13703
0.287068
13657
0.287047
13483
0.287026
13763
0.287006
13554
0.286985
13311
0.286965
13548
0.286944
13767
0.286923
13501
0.286903
13510
0.286882
13610
0.286862
13726
0.286841
13861
0.286821
13837
0.2868
13518
0.286779
13983
0.286759
13928
0.286738
13749
0.286718
13962
0.286697
13739
0.286677
13785
0.286656
13826
0.286636
14126
0.286615
13980
0.286595
13791
0.286574
13752
0.286553
13939
0.286533
13958
0.286512
14291
0.286492
13927
0.286471
14024
0.286451
13760
0.28643
14016
0.28641
14125
0.286389
14427
0.286369
14177
0.286348
13942
0.286328
14240
0.286307
14082
0.286287
14206
0.286266
14336
0.286246
14002
0.286225
14523
0.286205
14519
0.286184
14398
0.286164
14516
0.286144
14442
0.286123
14280
0.286103
14828
0.286082
14377
0.286062
14365
0.286041
14328
0.286021
14762
0.286
14729
0.28598
14736
0.285959
14553
0.285939
14625
0.285919
14422
0.285898
14678
0.285878
14814
0.285857
14754
0.285837
14887
0.285816
14797
0.285796
14990
0.285776
15239
0.285755
15017
0.285735
14953
0.285714
15135
0.285694
15005
0.285673
15088
0.285653
15302
0.285633
15180
0.285612
15389
0.285592
15340
0.285571
15425
0.285551
15240
0.285531
15617
0.28551
15130
0.28549
15727
0.28547
15678
0.285449
15561
0.285429
15790
0.285408
15787
0.285388
15872
0.285368
16035
0.285347
16001
0.285327
15943
0.285307
16035
0.285286
15851
0.285266
16156
0.285246
15923
0.285225
16275
0.285205
16374
0.285185
16297
0.285164
16437
0.285144
16482
0.285124
16673
0.285103
16552
0.285083
16854
0.285063
16943
0.285042
16687
0.285022
16983
0.285002
16919
0.284981
17059
0.284961
17006
0.284941
16988
0.284921
17164
0.2849
17702
0.28488
17456
0.28486
17807
0.284839
17290
0.284819
17523
0.284799
18004
0.284779
17677
0.284758
17848
0.284738
17721
0.284718
18015
0.284698
18357
0.284677
18291
0.284657
18384
0.284637
18168
0.284616
18400
0.284596
18188
0.284576
18834
0.284556
18587
0.284535
18706
0.284515
18969
0.284495
18326
0.284475
18991
0.284455
19084
0.284434
19197
0.284414
19141
0.284394
19664
0.284374
19712
0.284353
19690
0.284333
19605
0.284313
19623
0.284293
19806
0.284273
19870
0.284252
20099
0.284232
19912
0.284212
20437
0.284192
20541
0.284172
20141
0.284151
20525
0.284131
21080
0.284111
20961
0.284091
21086
0.284071
21270
0.284051
20836
0.28403
21331
0.28401
21644
0.28399
21583
0.28397
21207
0.28395
21521
0.28393
21760
0.283909
21905
0.283889
21881
0.283869
21762
0.283849
21835
0.283829
21865
0.283809
22102
0.283789
22000
0.283768
22166
0.283748
22311
0.283728
22284
0.283708
22221
0.283688
22505
0.283668
22292
0.283648
22863
0.283628
22501
0.283607
22283
0.283587
23013
0.283567
23090
0.283547
22908
0.283527
23200
0.283507
23246
0.283487
23011
0.283467
23659
0.283447
23460
0.283427
23667
0.283407
23826
0.283386
24547
0.283366
24365
0.283346
24737
0.283326
24728
0.283306
25337
0.283286
25869
0.283266
26103
0.283246
26172
0.283226
26159
0.283206
26845
0.283186
27074
0.283166
27345
0.283146
27985
0.283126
28624
0.283106
28778
0.283086
29588
0.283066
30041
0.283046
30609
0.283026
31077
0.283006
31456
0.282985
31749
0.282965
33274
0.282945
33266
0.282925
33944
0.282905
34667
0.282885
35651
0.282865
36509
0.282845
36912
0.282825
38116
0.282805
39212
0.282785
40349
0.282765
41250
0.282745
43307
0.282725
44457
0.282705
45978
0.282686
47643
0.282666
49592
0.282646
52409
0.282626
54140
0.282606
55618
0.282586
59393
0.282566
62230
0.282546
65530
0.282526
69618
0.282506
73468
0.282486
77433
0.282466
80887
0.282446
84856
0.282426
88507
0.282406
92173
0.282386
93759
0.282366
95054
0.282346
94266
0.282326
92853
0.282306
90027
0.282287
84146
0.282267
76715
0.282247
70825
0.282227
62506
0.282207
55299
0.282187
48774
0.282167
42075
0.282147
35716
0.282127
31708
0.282107
27764
0.282087
23991
0.282068
21353
0.282048
18750
0.282028
16656
0.282008
15256
0.281988
13760
0.281968
12553
0.281948
11561
0.281928
10919
0.281909
10141
0.281889
9529
0.281869
9016
0.281849
8431
0.281829
8028
0.281809
7740
0.281789
7314
0.28177
7026
0.28175
6748
0.28173
6890
0.28171
6672
0.28169
6102
0.28167
6200
0.28165
5837
0.281631
5843
0.281611
5776
0.281591
5549
0.281571
5568
0.281551
5472
0.281532
5139
0.281512
5182
0.281492
5095
0.281472
5334
0.281452
4942
0.281432
4993
0.281413
4982
0.281393
4984
0.281373
4819
0.281353
4961
0.281334
4493
0.281314
4549
0.281294
4489
0.281274
4562
0.281254
4122
0.281235
4169
0.281215
4076
0.281195
3997
0.281175
3775
0.281156
3995
0.281136
3617
0.281116
3394
0.281096
3502
0.281077
3501
0.281057
3375
0.281037
3081
0.281017
2992
0.280998
3023
0.280978
2884
0.280958
2580
0.280938
2718
0.280919
2472
0.280899
2251
0.280879
2375
0.280859
2367
0.28084
2155
0.28082
2129
0.2808
1966
0.280781
1788
0.280761
1611
0.280741
1743
0.280721
1551
0.280702
1802
0.280682
1540
0.280662
1322
0.280643
1663
0.280623
1383
0.280603
1321
0.280584
1279
0.280564
1248
0.280544
1361
0.280525
1198
0.280505
1197
0.280485
1118
0.280466
1078
0.280446
860
0.280426
947
0.280407
1221
0.280387
1114
0.280367
1098
0.280348
1153
0.280328
1221
0.280308
1120
0.280289
1376
0.280269
968
0.280249
1122
0.28023
1082
0.28021
1003
0.280191
1046
0.280171
1105
0.280151
1225
0.280132
1078
0.280112
903
0.280092
1267
0.280073
1106
0.280053
1152
0.280034
944
0.280014
1044
0.279994
1168
0.279975
1459
0.279955
1402
0.279936
1191
0.279916
1322
0.279896
1222
0.279877
1302
0.279857
1396
0.279838
1345
0.279818
1452
0.279799
1529
0.279779
1387
0.279759
1120
0.27974
1277
0.27972
1059
0.279701
1138
0.279681
946
0.279662
1200
0.279642
1515
0.279623
1233
0.279603
1215
0.279583
1201
0.279564
1312
0.279544
1284
0.279525
1070
0.279505
872
0.279486
847
0.279466
1182
0.279447
1086
0.279427
1003
0.279408
974
0.279388
901
0.279369
963
0.279349
892
0.27933
787
0.27931
624
0.279291
699
0.279271
446
0.279252
258
0.279232
335
0.279213
395
0.279193
283
0.279174
205
0.279154
0
0.279135
41
0.279115
128
0.279096
end of experiment
